SI500-RIE SI500主机，使用RIE上盖和RIE系统真空泵，带氦背部冷却 |
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| 厂商名称： |
SENTHCH |
| 商品名称： |
SI500主机，使用RIE上盖和RIE系统真空泵，带氦背部冷却 |
| 商品型号： |
SI500-RIE |
| 简单信息： |
SI500-RIE主要用于III-V族半导体材料、硅、金属、电介质处理。远程控制器RFC通过串行总线INTELBUS。水冷后工作温度范围5-40°C分子泵LH361抽速（360升每秒）,预真空泵 LH D 40，步进电机控制针阀，MKS的Baratron压强传感器，Balzers的PENNING潘宁真空规... |
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