型号

RM 1000

RM 2000

测量数据

反射率R

分析和输出

薄膜厚度、折射率和其他数据

薄膜厚度范围

up to 25μm

up to 50μm

膜厚精度度

好于1 nm (对 400 nm SiO /Si)

或好于1%(对厚度大于1000 nm的薄膜)

准确度(1 σ)

0.3 nm (对400 nm SiO2/Si)

测量时间

Typical 300 ms

光谱范围

450-920nm

240-950nm

光斑直径

80μm

0.5mm

光源

稳定的氘灯和卤素灯光源

探测器

SMA光纤输入分光计，高性能光电二极管阵列测量光谱强度

机架

19” 桌面式控制盒

电源

85...264 VAC 宽电压范围

电源接口

IEC 60320-C14 (针对不同国家电源而不同)

电源线

针对不同国家电源而不同

网络连接器

RJ-45

对用户PC的需求

桌面式PC、显示器、键盘、鼠标，或笔记本电脑，最低配置

600 MHz, 256 MB, 100Mbit网卡(100Base-T), CD-ROM, WinXP系统