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 椭偏仪/反射膜厚仪
 等离子刻蚀/沉积设备
 
椭偏仪、反射膜厚仪
光谱椭偏仪  
SENresearch –研发用高性能光谱椭偏仪系列,多角度入射,宽光谱范围(190-2500nm)。
SENDURO® - 全自动光谱椭偏仪,预先设定多层膜分析应用程序。
SE 900-50 - 红外光谱椭偏仪,宽光谱范围(2 μm - 25 μm).
激光椭偏仪  
SE 400adv , SE 500adv -激光椭偏仪,多角度入射,先进的硬件和软件能够对薄膜厚度和光学常数进行最精确的测量,可分析单层膜和多层膜。
serPro – 经济型激光椭偏仪.
反射膜厚仪  
FTPadvanced - 反射膜厚仪,测量透明和半透明膜的厚度和光学常数。
Reflectometer RM - 高精度宽波段反射膜厚仪,可测量薄膜厚度、光学常数,分析材料组分。
FTPadvanced 可升级大面积测量样品台。
用于工业质量控制的椭偏仪、反射膜厚仪  
SENDURO®; -全自动光谱椭偏仪,用于工业检测。
SE 801 -光谱椭偏仪,在线监控
微细光斑光谱椭偏仪, 47 x 47 μm2 光斑直径.
FTPadvanced带有大面积扫描样品台,用于质量控制
SE 400-STA – 紧凑型激光椭偏仪,自动校准,用于对金属条上薄膜的连续测量。
京ICP备09073740号